軸承是精密機械零件，對滾動體和軸承套圈的圓度、波紋度和表面粗糙度有很高的要求，生產(chǎn)過程必須滿足亞微米級公差。為了驗證生產(chǎn)質(zhì)量，采用了最先進的接觸測量技術，對如圓度和波紋度進行測量以及根據(jù)ISO 4287標準對表面粗糙度進行測量。為了測量圓度和波紋度，使用了特殊的測量儀，同時也可用來測量表面粗糙度。測量主要是在實驗室環(huán)境中以隨機抽樣的方式檢查零件。同時，為了滿足日益增長的軸承質(zhì)量要求，必須增大樣本尺寸，但這增加了質(zhì)量檢查所需的時間。散射光光學測量技術有助于解決這些矛盾的要求。這項技術基于光從表面的反射，可在一次操作中測量圓度、波紋度和表面粗糙度。提供潔凈的環(huán)境，就可使用散射光進行自動測量，并將其集成于如超精和磨削等生產(chǎn)過程中。此外，周期時間遠比接觸測量短。散射光測量的結果可校準。通過校準圓度和波紋度可達到國際標準。Aq是從表面粗糙度的光學結果得來的新參數(shù)，雖然其與已知的Ra和Rz值無關，但與偶爾使用的Rdq值有關。
